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高纯钨研究现状及制备工艺方法综述
高纯钨研究现状及制备工艺方法综述
来源 :粉末冶金技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yeah88
【摘 要】
:
高纯钨具有很高的附加价值,其市场前景与集成电路发展密切相关,高纯钨的净化是目前高纯钨生产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、制备工艺及其纯度表征,
【作 者】
:
刘文胜
龙路平
马运柱
【机 构】
:
中南大学粉末冶金国家重点实验室
【出 处】
:
粉末冶金技术
【发表日期】
:
2012年3期
【关键词】
:
高纯钨
微电子
钨靶
净化
精炼
high purity tungsten microelectronics tungsten target purificat
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高纯钨具有很高的附加价值,其市场前景与集成电路发展密切相关,高纯钨的净化是目前高纯钨生产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、制备工艺及其纯度表征,在此基础上进行了展望。
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