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采用脉冲激光沉积（PLD）法在蓝宝石衬底上先后外延生长了ZnO：Al（ZAO）和LiNbO3（LN）薄膜。通过X射线衍射分析（XRD）可知二者之间的外延关系为：LN（001）／／ZAO（001）、LN[110]／／ZAO[1^-10]、LN[100]／／ZAO[1^-20]。制备了Au／LN／ZAO和ZAO／LN／ZAO两种电容器结构，对其进行了电流．电压（J-E）测试和铁电（P-E）分析，结果表明：LN／ZAO集成结构具有整流作用，ZAO／LN／ZAO结构表现出较好的绝缘性能，所制备的LN薄膜在室温下的