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基于延伸栅极型晶体管(EGFET)的pH传感器是新型溶液pH检测技术。该文将TiO2纳米管阵列作为EGFET的延伸栅极,并详细研究了EGFET的pH敏感特性。得益于TiO2纳米管阵列高比表面积和良好的化学稳定性,EGFET具有较宽的pH响应范围pH2~pH12,灵敏度为54.2mV/pH,接近理论能斯特限值(59mV/pH),并且具有较低的迟滞(14.3mV)以及漂移率(2.2mV/h)。与传统玻璃式pH电极相比,EGFETpH传感器具有方便携带、快速响应、易与集成电路集成等特点,应用前景广泛。