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介绍了射频微电子机械系统（RF MEMS）的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。
射频微电子机械系统的发展与展望
【摘 要】
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介绍了射频微电子机械系统（RF MEMS）的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。
【机 构】
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河北半导体所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年4期
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