【摘 要】
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室温下采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型ZnO∶Y（ZnO掺杂Y2O3,简称ZnO∶Y）透明导电薄膜。研究了薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构、光
【机 构】
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山东大学（威海）空间科学与物理学院
【基金项目】
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山东省自然科学基金（ZR2009AM020）, 山东大学自主创新基金（2011ZRXT002,2011ZRYQ010）
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室温下采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型ZnO∶Y（ZnO掺杂Y2O3,简称ZnO∶Y）透明导电薄膜。研究了薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构、光电特性的影响。结果表明：不同厚度的ZnO∶Y薄膜均为多晶薄膜,具有ZnO六角纤锌矿结构,最佳取向为（002）方向。随薄膜厚度增加,其电阻率减小,当薄膜厚度增至800 nm时,其电阻率为8.36×10-4Ω.cm,迁移率为15.3 cm2.V-1.s-1,载流子浓度为4.88×1020cm-3。不同厚度的薄
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