溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比

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【摘要】

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分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显

【作者】

：

任思雨王英连孙汪典刘玉华

【机构】

：

暨南大学物理系

【出处】

：

材料工程

【发表日期】

：

2004年11期

【关键词】

：

ZNO薄膜溶胶-凝胶磁控溅射 <Keyword>ZnO thin film sol-gel R.F. magnetron sputterin

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分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密.

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