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由中芯国际集成电路制造有限公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）“65／45／32nm工艺”项目，在科技部、北京市和上海市的支持下，成功研发出65nm产品工艺，各项技术指标均达到国际主流技术水平。现已进入批量生产阶段。
国家科技重大专项成果：65nm集成电路工艺量产
【摘 要】
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由中芯国际集成电路制造有限公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）“65／45／32nm工艺”项目，在科技部、北京市和上海市的支持下，成功研发出65
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2010年4期
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