【摘 要】
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采用Spectra-Diode Labs的一种高能激光二极管阵列于金属有机化合物蒸气中,在硅衬底上淀积了金属互连线.这种高能激光既使硅局部地被加热、又使有机化合物分子分解,从而在硅
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采用Spectra-Diode Labs的一种高能激光二极管阵列于金属有机化合物蒸气中,在硅衬底上淀积了金属互连线.这种高能激光既使硅局部地被加热、又使有机化合物分子分解,从而在硅表面上形成了金属膜,科学家们再采用激光扫描并加热硅表面的方法,已能于硅
Using a high-energy laser diode array of Spectra-Diode Labs in a metal-organic vapor, a metal interconnect is deposited on a silicon substrate that causes both the localized heating of the silicon and the molecular decomposition of the organic compound , Which formed a metal film on the surface of silicon, scientists then use laser scanning and heating the surface of silicon has been able to silicon
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