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近年来，由于氯消毒副产物，微污染物，难降解或有毒有机废水的治理缺乏有效的方法，以及臭氧发生设备性能的提高，臭氧技术已在饮用水和废水处理中重新受到关注且得到了新发展。臭氧技术已由最初经碱催化的直接氧化发展发展形成催化，多相催化氧化；在水处理方面，由原来的单独使用发展形成与其它方法联合作用，臭氧处理单元自身也有很大的发展。