Hartmann-Shack传感器结构参量的自基准标定

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提出一种标定Hartmann-Shack波前传感器结构参量的新方法,通过基于Zernike多项式的模式复原算法推导出公式,结合实验手段获得相应数据,处理后得到微透镜阵列到CCD之间的距离.该方法有效改善了以微透镜焦距代替实际参量计算斜率引入较大误差的状况,在降低传感器装配准确度要求的同时,提高了Hartmann—Shack波前传感器的探测准确度.经实验验证该方法在一般实验条件下即可获得满意效果.
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