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扫描电镜电子背散射衍射系统的研制
扫描电镜电子背散射衍射系统的研制
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tvxq905
【摘 要】
:
本文介绍了扫描电镜电子背散射衍射接收系统,并将该系统成功地安装在JSM-840扫描电镜上.
【作 者】
:
孙丽虹
刘安生
邵贝羚
孙继光
陈朝庆
胡广勇
张希顺
【机 构】
:
北京有色金属研究总院,北京,100088
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
电子背散射衍射
数字图象
扫描电镜
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本文介绍了扫描电镜电子背散射衍射接收系统,并将该系统成功地安装在JSM-840扫描电镜上.
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