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户外照明赉用大面积光学薄膜，对薄膜均匀性提出较高的要求。采用平面公自转行星夹具镀制户外照明用大面积光学薄膜，分析计算了光学薄膜膜厚的均匀性，探讨各个参数对膜厚均匀性的影响，经测试分析，得到理论偏差和实际偏差结果。
大面积户外照明光学薄膜膜厚均匀性研究
【摘 要】
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户外照明赉用大面积光学薄膜，对薄膜均匀性提出较高的要求。采用平面公自转行星夹具镀制户外照明用大面积光学薄膜，分析计算了光学薄膜膜厚的均匀性，探讨各个参数对膜厚均匀性的
【机 构】
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广州市光机电工程研究开发中心
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2006年4期
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