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大气压射频等离子体光强测量系统的设计
大气压射频等离子体光强测量系统的设计
来源 :机械工程与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boluoxj
【摘 要】
:
基于对大气压等离子体放电射流特性的分析,考虑到实验室对于大气压射频等离子体强度的要求,设计出一套高灵敏度、高精确度的光强测试系统,实时测量等离子体放电强度,找到等离
【作 者】
:
刘亚运
李占贤
【机 构】
:
华北理工大学机械工程学院
【出 处】
:
机械工程与自动化
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
等离子体
大气压射频
光强度检测
测量系统
plasma
atmospheric-pressure RF
light intensity detection
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基于对大气压等离子体放电射流特性的分析,考虑到实验室对于大气压射频等离子体强度的要求,设计出一套高灵敏度、高精确度的光强测试系统,实时测量等离子体放电强度,找到等离子体放电强度与辉光放电光强的对应关系,为今后的实验及产品开发提供参考和依据。
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