非平衡磁控溅射制备CrTiAlN/GLC复合涂层的表面性能及摩擦磨损性能研究

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采用非平衡磁控溅射技术在新型冷作模具钢表面制备CrTiAlN/GLC复合涂层,并应用拉曼光谱(Raman)、纳米压痕、磨损试验等测试方法分析与考察该复合涂层的组织结构、纳米硬度、结合强度和摩擦磨损性能。结果表明:CrTiAlN/GLC复合涂层由CrTiAlN和以sp^2为主的非晶及微晶结构GLC组成,其纳米硬度(17.38GPa)介于CrTiAlN与GLC单一涂层之间,但有最高的弹性模量(186.35GPa),并与基体结合状况良好(临界载荷Lε≥60N)。此外,复合涂层还明显地改善了基体表面的摩擦学性能,
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