论文部分内容阅读
先进材料实验室郑耿锋教授在美国西北大学博士后期间,研究开发出一种基于高分子针尖阵列和近场光学扫描方法的新型“光笔印刷技术(Beam Pen Lithography)”.该技术有望作为一种高效、低成本的微纳米器件制备方法,广泛应用于微型集成电路、光电子学器件、生物传感器、以及疾病诊断芯片等领域.