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采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实现“自顶向下”设计,进行器件版图编辑、掩膜板设计提供了一种有效的途径.
一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术
【摘 要】
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采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2006年13期
【基金项目】
：
863/MEMS重大专项(2005AA404240)资助
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