国际半导体技术发展路线图(ITRS)2011版综述(5)

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5路线图技术特征总表rn背景rn技术特征总表(Overall Roadmap Technology Characteristics,OTRC)是在制定路线图的过程中最先完成的部分,作为基础来指导国际技术工作组开展工作,完成他们各自章节的详细内容.这些表格同时也是在规划更新的过程中协调各工作组工作的重要手段,主要通过突出对比各个参数表不一致的地方来实现.修订这些技术特征总表的过程需要不断加强工作组间和国际合作,最终对发展趋势的基本模型建立共识,对目标值达成一致意见.显然,这需要反复努力和审核才能实现.
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