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为增强制造设备网络中设备的互操作性，研究了EPA技术中XDDL语言的特点和设备描述技术的应用流程。在此基础上，分析了最新的XML解析方案以及设备描述文件解析后数据应用效率问题，提出了合理解析方案和设备描述数据应用的双缓存技术。对优化方案进行了测试，结果验证了优化方案的处理效率，根据测试结果和新方案特点，展望了在CIMS和Fieldbus领域的应用前景。