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提出一种光栅式位移测量新方法,利用单个普通低线数计量光栅,实现高分辨率、大量程的位移测量.给出测量光路图,分析测量原理,最后介绍初步原理实验及结果.
光栅式大量程高分辨率位移测量研究
【摘 要】
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提出一种光栅式位移测量新方法,利用单个普通低线数计量光栅,实现高分辨率、大量程的位移测量.给出测量光路图,分析测量原理,最后介绍初步原理实验及结果.
【机 构】
：
国防科学技术大学,长沙市,410073国防科学技术大学机电工程与自动化学院;
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
：
2000年8期
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