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一种供用于化学气相淀积系统的固态有机金属原材料使用的双室扩散器以及一种将原材料的饱和载气输送到这种系统中的方法。所述扩散器的容器结构应使载气通过其顶部的进料口进入到一个进料室，且之后使有机金属蒸汽的饱和载气经位于进料室底板的第一多孔烧结件排入到一个出料室，并在通过位于扩散器出口的一个第二多孔烧结件之后从扩散器排出。