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综合考虑多晶硅用氯化氢合成炉的腐蚀机理、防腐措施及工艺要求，对其进行性能分析，提出为了控制腐蚀，氯化氢合成炉的合理结构。
多晶硅行业钢制氯化氢合成炉的腐蚀控制
【摘 要】
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综合考虑多晶硅用氯化氢合成炉的腐蚀机理、防腐措施及工艺要求，对其进行性能分析，提出为了控制腐蚀，氯化氢合成炉的合理结构。
【机 构】
：
亚洲硅业（青海）有限公司
【出 处】
：
广州化工
【发表日期】
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2009年2期
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