用于双离子束注入器的杂质消除系统

来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：BFM_99

【摘要】

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研制了一套用于双离子束注入器的杂质消除系统,该系统由两台速度选择器、1台单透镜和1台双孔选束光阑组成,可实现不同荷质比的两种离子束在同时传输过程中消除杂质离子.该技

【作者】

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唐兵王鲁闽马瑞刚李宁陈立华曹留煊黄青华张建崔

【机构】

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中国原子能科学研究院,北京,102413厦门大学,福建厦门,361005;

【出处】

：

原子能科学技术

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

注入器双离子束杂质

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研制了一套用于双离子束注入器的杂质消除系统,该系统由两台速度选择器、1台单透镜和1台双孔选束光阑组成,可实现不同荷质比的两种离子束在同时传输过程中消除杂质离子.该技术已用于1台H+2和He+两种离子束同时传输的50keV双离子束注入器,实现了1台加速器同时产生、传输两种离子束,并同轴注入靶内,离子束纯度好于99.9%.

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