超声波化学沉积Co—Ni—B—Ce合金薄膜工艺的研究

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研究了超声波条件下工艺参数对Co—Ni—B—Ce合金化学沉积速度的影响,讨论了温度、声强、超声波频率、镀液组成等对沉积速度的影响。研究发现:温度、超声波频率、镀液组成对沉积速度有较大的影响。超声波使Co—Ni—B—Ce化学沉积速度提高30%,在超声条件下,镀液的稳定性降低。随着声强的增加,镀液容易发生自分解,沉积速度迅速减小。通过对工艺的分析,得出了Co—Ni—B—Ce合金超声波化学沉积的最佳工艺参数。
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