微射流水导改善加工激光能量分布

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微射流水导激光加工是利用Nd∶YAG激光在微射流击穿阈值中全反射传输作用于加工工件上,加工激光经过不同轴方向速度的微射流水导传输后以不同模式叠加,其加工峰值和能量分布得到改变。实验中,激光在微射流中分布峰值下降,光强分布均匀,加工效果相当于提高并展宽脉冲宽度,达到加工阈值。从理论上分析激光在微射流分布影响下能量分布变化,并模拟水导激光加工及波导传输机理,分析对于激光加工效率的影响。研究结果对进一步系统地提高改善微射流水导激光加工质量,尤其在以该加工方式参与的激光精密、超精密加工中,提高其应用范围有着重要参考价值。
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