【摘 要】
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发展了Ｊ．Ｍ．Ｍａｙｅｒ等人建立的两元靶溅射的暂态理论，清晰地给出了描述因离子束轰击诱导多元靶表面化学成分随离子通量变化的公式，根据稳定态时化学成分的改变，可以推算出靶中任意两元素表面
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发展了Ｊ．Ｍ．Ｍａｙｅｒ等人建立的两元靶溅射的暂态理论，清晰地给出了描述因离子束轰击诱导多元靶表面化学成分随离子通量变化的公式，根据稳定态时化学成分的改变，可以推算出靶中任意两元素表面结合能之经。利用Ｓｃｈｉｏｔｔ理论，可以计算多元靶中的离子射程，从而可以很简单地球出多元靶表面发随轰离子通量的动态变化过程，变即暂态过程。作为例子，作者计算了某些直实的两元和三元合金靶的暂态过程，结果显示出计算曲线和
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