【摘 要】
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采用反应溅射法在316L不锈钢上制备了氧化铝（Al2O3）涂层。研究了涂层厚度与微观结构,以及氢渗透性能之间的关系,并对涂层的热循环性进行了评估。采用SEM分析Al2O3涂层的微观形
【机 构】
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北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所
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采用反应溅射法在316L不锈钢上制备了氧化铝（Al2O3）涂层。研究了涂层厚度与微观结构,以及氢渗透性能之间的关系,并对涂层的热循环性进行了评估。采用SEM分析Al2O3涂层的微观形貌,采用气相氢渗透装置对涂层氢渗透行为进行评价。结果表明Al2O3涂层的氢渗透压力指数为0.520.88,说明氢渗透过程机制为表面过程和体扩散过程共同控制,且体扩散过程随温度升高而增强。涂层厚度对涂层表面形貌和氢渗透性能有较大影响,涂层表面质量、阻氢性能都随涂层厚度增加先上升后降低。110nm厚的Al2O3涂层有优良的阻氢性能,热循环前后的氢渗透降低因子（PRF）分别达316和298。
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