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为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题，利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵，其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧炕（PDMS）和SU-8构成．从理论上，分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析．综合两类微泵特点，提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案．在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵．实验结果表明，该微泵可用于气体和液体介质，气、液体的最大流量分别达到53．6mL／