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为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.
基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法
【摘 要】
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为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱
【机 构】
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上海交通大学动力机械与工程学院
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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2009年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60574054,70771065）,上海市浦江人才计划资助项目（07PJ14052）
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