(112)B碲锌镉衬底表面Everson腐蚀坑与材料缺陷的关系

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hawkzhou

【摘要】

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通过研究碲锌镉衬底(112)B面缺陷腐蚀坑和(111)B面缺陷腐蚀坑之间的关系,揭示了(112)B面腐蚀坑与材料缺陷之间的关系。结果显示,Everson腐蚀剂在碲锌镉材料(112)B面上揭示的棒状腐蚀坑起源于材料中的体缺陷,或由延伸缺陷腐蚀坑在缺陷终止后演变而成,三种典型形状的锥形腐蚀坑分别来自延伸方向为<110>、<112>和<123>的延伸缺陷。研究结果同时显示,Everson腐蚀剂对部分取向的延伸缺陷所形成的腐蚀习性面在(112)B表面不能构成锥形腐蚀坑,通过观察

【作者】

：

周昌鹤杨建荣周梅华徐超

【机构】

：

中国科学院大学,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

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碲锌镉腐蚀坑体缺陷延伸缺陷

【基金项目】

：

中国科学院上海技术物理研究所创新专项(CX-299)。

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