【摘 要】
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利用CO2激光器的振镜扫描修复装置对较大尺寸(≥200μm)的熔石英损伤点进行了定点修复,比较了功率和扫描速度对修复坑形貌的影响。修复后的面型大小以及深度随激光功率增加而
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家“863”课题“高功率固体激光驱动器负载能力研究”(2008AA8040508)
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利用CO2激光器的振镜扫描修复装置对较大尺寸(≥200μm)的熔石英损伤点进行了定点修复,比较了功率和扫描速度对修复坑形貌的影响。修复后的面型大小以及深度随激光功率增加而增加,随激光扫描速度的提高而减小。先用较低功率作用,再用较高功率作用可以有效减少气泡的产生。利用激光功率缓慢递增多次作用的修复方法,可以消除烧蚀。修复后阈值基本上可以达到损伤前的水平,达到了提升损伤阈值的目的。
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