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纳流控芯片作为研究单分子水平上分子行为的一种新工具，人们期待纳流控在生物技术等领域有更广泛的应用。纳米结构的制作，作为纳流控芯片应用的前提之一，正逐渐引起人们的重视。本文综述了近几年来纳流控芯片中模板法制作纳米结构的研究进展，主要是以氧化铝膜，多孔硅，以及其它一些带有纳米通道的物质为模板，制作纳米结构应用于纳流控生化分析。