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期刊论文
EEPROM存贮单元的版图设计
EEPROM存贮单元的版图设计
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhy_287229489
【摘 要】
:
本文阐述了浮栅EEPROM存贮单元的工作原理及图形设计的方法考虑。比较了分析也四种不同的单元图形的利弊得失以及EEPROM中低掺杂漏区结构的图形与工艺技术。
【作 者】
:
邵丙铣
郑源伟
【机 构】
:
复旦大学
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
EEPROM
存储器
电可擦除
编程序储器
EPROM
Memory
Digital IC
【基金项目】
:
国家微电子材料与元器件微分析中心资助
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本文阐述了浮栅EEPROM存贮单元的工作原理及图形设计的方法考虑。比较了分析也四种不同的单元图形的利弊得失以及EEPROM中低掺杂漏区结构的图形与工艺技术。
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