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本文简述了淀积于基片上的薄膜中的应力的计算理论的演变过程.评价了每种计算公式的优缺点.这些方法统称为'弯梁法'.详细报导了溅射条件对溅射Al_2O_3膜应力的影响的实验结果.
关于溅射条件对RF溅射Al2O3膜应力的影响的研究
【摘 要】
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本文简述了淀积于基片上的薄膜中的应力的计算理论的演变过程.评价了每种计算公式的优缺点.这些方法统称为'弯梁法'.详细报导了溅射条件对溅射Al_2O_3膜应力的影响的
【机 构】
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中国科学院计算技术研究所北京100080
【出 处】
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计算机研究与发展
【发表日期】
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1992年7期
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