【摘 要】
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以In（NO3）3.·4.5H2O为主要原料,用乙酰丙酮作溶剂,掺加SnCl4·5H2O（铟锡物质的量比为10∶1）制得溶胶,以石英玻璃为基体用提拉法制得ITO膜,与已有制备方法相比,试样每次
【机 构】
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浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室
【基金项目】
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浙江省自然科学基金资助项目（Y407195）,长江学者和创新团队发展计划资助项目（IRT0654）
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以In（NO3）3.·4.5H2O为主要原料,用乙酰丙酮作溶剂,掺加SnCl4·5H2O（铟锡物质的量比为10∶1）制得溶胶,以石英玻璃为基体用提拉法制得ITO膜,与已有制备方法相比,试样每次提拉后都经过500℃的退火处理,循环5次。利用表面轮廓仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪对所制样品的厚度、形貌结构和光电性能进行测试表征。实验结果表明,制备的ITO膜导电性能好,在可见光范围内透光率高,电阻率约为5.625×10-3Ω·cm,透光
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