天车系统关键技术研究

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天车系统作为一种稳定可靠的物料搬运系统,广泛应用于集成电路产业的自动物料搬运系统。介绍了天车系统的关键技术,包括吊运车技术、吊运车轨道技术、供电技术、精密运动控制技术和污染颗粒的防护技术。
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