【摘 要】
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以金属锌、铁、银为靶材,用准分子脉冲激光沉积法(PLD),在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜.XRD和AFM研究结果表明薄膜的结晶度很好,晶粒尺寸在30～50 nm,
【机 构】
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华中科技大学化学系,华中科技大学化学系,华中科技大学激光技术国家重点实验室
【基金项目】
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中国科学院资助项目，国家重点实验室基金
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以金属锌、铁、银为靶材,用准分子脉冲激光沉积法(PLD),在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜.XRD和AFM研究结果表明薄膜的结晶度很好,晶粒尺寸在30～50 nm,成膜均匀致密,光滑平整;经紫外和红外光谱发现:Ag/Fe/Zn氧化物多层膜反射率小于15%,是一种低反射薄膜,其在可见光区的透过率约为50%(浅蓝灰色),对紫外的阻隔率大于90%,对近红外的阻隔率大于70%.
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