原子氢辅助MBE生长的不同晶面GaAs表面形貌

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lienkai

【摘要】

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研究了原子氢辅助分子束外延(MBE)中,原子氢对不同晶面GaAs外延层表面形貌特征的诱导作用.原子力显微镜(AFM)测试表明,在GaAs的(311)A和(331)A面,原子氢导致了台阶状形貌的形

【作者】

：

魏全香牛智川

【机构】

：

山西大学物理系,中国科学院半导体研究所

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

分子束外延原子力显微镜台阶积累 MBEAFMstep bunching

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研究了原子氢辅助分子束外延(MBE)中,原子氢对不同晶面GaAs外延层表面形貌特征的诱导作用.原子力显微镜(AFM)测试表明,在GaAs的(311)A和(331)A面,原子氢导致了台阶状形貌的形成.提出了一种简单模型,解释了台阶面形貌形成的物理机制.为最终有序低维纳米表面结构提供了一种实验参考.

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