论文部分内容阅读
光刻技术要数现代集成电路上的第一大难题。光蚀刻系统制造的精细程度取决于很多因素。但是实现跨越性进步的有效方法是降低使用光源的波长。现在,晶圆制造的工艺技术发展的确到了一个转折点。有人认为EUV光刻能够拯救摩尔定律,但事实是否真的如此还有待验证。
EUV光刻技术与摩尔定律
【摘 要】
：
光刻技术要数现代集成电路上的第一大难题。光蚀刻系统制造的精细程度取决于很多因素。但是实现跨越性进步的有效方法是降低使用光源的波长。现在,晶圆制造的工艺技术发展的
【机 构】
：
昆明理工大学研究生院
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2017年3期
其他文献
民国时期,关于女性与图书馆职业关系的认识,意见纷纭。概括起来,主要有三种观点:一是女性适宜从事图书馆职业,二是儿童图书馆需要女性馆员,三是女性不适宜从事图书馆行政工作
融媒体时代的到来,给我们的日常生活带来了巨大的改变,使新闻信息传播途径越来越多样化,越来越快捷高效,不仅突破了传统媒体在时间、空间方面的限制,同时还使受众接受信息的
"互联网+"时代背景对每个行业已然产生了深刻的冲击,会计行业作为国民经济的算盘,也必须紧跟世界经济的发展潮流,充分利用大数据给会计服务带来的便利,使企业财务管理更为准
探讨半精纺双层绒面织物后整理工艺流程及主要工艺参数,并对织物的断裂强力、静态尺寸变化率、撕破强力、色牢度、脱缝程度、起毛起球等性能进行测试。针对织物抗起毛起球性
伴随全球化时代的来临。多元文化价值观念广泛存在于我们的现实生活中，大学生面临社会转型和思想冲击，他们的理想选择、价值取向以及社会行为处于多变状态中。文章从多元文化渗
从原料、纱线结构、织物结构、加工工艺和生产设备5个方面,对精纺山羊绒针织衫鸡爪痕疵点形成的原因进行分析;研究生产工艺流程、原料选配、纺纱工艺、染色加工、织造和后整
针对现有研究中采用蛋白酶种类、酶活不同以及羊毛织物规格不一致等原因,难以对不同工艺处理后的织物进行直接地防毡缩整理效果比较,故基于羊毛“减法”防毡缩原理,考察了相
针对复合纺纱技术多轴系喂入汇聚的多变性和复杂性,对国内外形状记忆纱线制备技术研究现状进行评述。结果表明:基于环锭纺的二轴系或三轴系喂入汇聚是高弹形状记忆复合纱最基
为解决烂花产品生产工艺复杂的问题,通过对涤/棉包芯纱前处理工艺、烂花工艺条件的研究,筛选出适合的糊料工艺。得出:涤/棉包芯纱织物前处理工艺为:NaOH质量浓度5 g/L,H 2O 2