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PAE效应是芯片在加工过程中,静电对栅氧化层的破坏性击穿效应.本文分析了PAE的成因,提出了几种估量PAE效应的算法,并提出了解决PAE的方法.所提供的计算及解决方法成功地应用在"龙芯-Ⅰ CPU"的设计中,保证了芯片的加工过程没有PAE效应出现.
PAE效应的分析与解决
【摘 要】
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PAE效应是芯片在加工过程中,静电对栅氧化层的破坏性击穿效应.本文分析了PAE的成因,提出了几种估量PAE效应的算法,并提出了解决PAE的方法.所提供的计算及解决方法成功地应用
【机 构】
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中国科学院微电子中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年7期
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