【摘 要】
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为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同 量(质量分数为0、 0.01%、 0.05%和0 .1%)的氮化硅粉,经注浆成型、 140°保温
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为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同 量(质量分数为0、 0.01%、 0.05%和0 .1%)的氮化硅粉,经注浆成型、 140°保温10 11干燥和1150°保温6 11 烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540 ℃,历时约52 h 的多晶硅铸锭过程,最后用 透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X 射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶 度和晶粒尺寸.结果表明:随着Si3N4添
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