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介绍了93k集成电路测试系统棱准原理与实现方法，讨论了校准过程中的量值传递关系；以HPP-MU为例，给出了量值传递的实现过程，并分析了93k校准原理与方法在确保量值准确、一致性上的优点。
93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究
【摘 要】
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介绍了93k集成电路测试系统棱准原理与实现方法，讨论了校准过程中的量值传递关系；以HPP-MU为例，给出了量值传递的实现过程，并分析了93k校准原理与方法在确保量值准确、一致性上的
【机 构】
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武汉数字工程研究所
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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2009年3期
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