【摘 要】
：
极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关。过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因此极板间距是设计自检式石英振梁加速度计的
【基金项目】
：
江苏省自然科学基金资助项目(BK20171366)
论文部分内容阅读
极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关。过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因此极板间距是设计自检式石英振梁加速度计的关键。针对该问题,建立了理想静电驱动模型与吸合模型。通过理论分析和仿真优化,获取临界吸合电压函数。同时,研究了电压对两种模型加速度的影响,并对两者误差进行分析。最终得出极板间距与所能模拟加速度最大值呈现线性关系。提出了极板间距设定流程,并证明极板间距为19μm时,自检式石英振梁加速度计自检性能最佳。
其他文献
为了研究响水涧抽水蓄能电机发电工况下承受电力系统扰动的能力,本文基于单元电机建立了抽水蓄能电机的场M合时步有限元模型.采用该模型计算了系统发生三相突然短路后的大扰
双馈风力发电机闪爆事故极少发生，通过对两起双馈风力发电机闪爆事故的跟踪调查，本文从发电机的运行条件、运维过程、发电机结构等方面对发电机发生闪爆事故的原因进行了分析，并
地温是评价气候变化的重要指标,对土壤的成分、结构以及形成和演化都具有很大影响。分析地温自身的时空变化规律以及与气候间的相互关系,对深入了解地气间相互作用的机理、明
该文认为妇产科护理工作纠纷发生的原因包括妇产科护理人员工作积极性较差、妇产科护理人员服务态度恶劣、妇产科护理人员道德水平欠佳等。并指出要避免妇产科发生医患纠纷,
17年光阴,砥砺前行,引领服务品质;17年风雨,经受洗礼,彰显服务精神。17年来,潘集区供电公司“三轮车”共产党员服务队无论严寒酷暑,穿梭于街头巷尾,行走在田间地头,为解决百
随着中国经济持续、快速的发展变，经济实力的不断增强，基础建设的不断推进，变电站的建设也日新月异。从有人值守到无人值守电力设备的高速发展，变电站的科技含量愈来愈高，也给变电
作为全球最大的聚酰胺66集成制造商之一和泛达PA66^TM树脂技术改性材料的全球供应商，美国首诺。公司宣布其旗下的泛达PA66塑料，包括22HSP、21SPG和R513H等多个系列产品已经通过
通过对主蒸汽压力、床温、炉膛出口烟气含氧量、料层差压随给煤量、一次风量、二次风量、排渣率及燃烧率的阶跃响应,仿真模拟对循环流化床锅炉的结构、原理、特点以及燃烧系
利用东莞城市内涝预报验证系统的积水和降雨数据、SWIFT自动站资料、NCEP再分析资料、广州雷达基本反射率资料,对2017年3月—2019年9月东莞城区内涝特征及内涝与降雨的关系进