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本文首先介绍了脉冲激光蒸发沉积以及真空弧沉积技术,在此基础上对激光真空弧技术的原理、特点、研究现状及应用进行了文献综述.可以预测,激光真空弧技术在薄膜材料科学与技术以及工业生产中必将具有广阔的应用前景.
脉冲激光真空弧薄膜制备技术
【摘 要】
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本文首先介绍了脉冲激光蒸发沉积以及真空弧沉积技术,在此基础上对激光真空弧技术的原理、特点、研究现状及应用进行了文献综述.可以预测,激光真空弧技术在薄膜材料科学与技
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2002年2期
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