【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法分别在K9玻璃、单晶硅和石英玻璃基底上制备了纳米TiO2和SiO2薄膜。利用SEM、UV-Vis及反射式椭圆偏振光谱仪对薄膜的微观结构及光学特性进行了表征和分析。结
【基金项目】
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天津市薄膜光学重点实验室开放基金(No.JHWX130492)资助项目
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采用溶胶-凝胶法分别在K9玻璃、单晶硅和石英玻璃基底上制备了纳米TiO2和SiO2薄膜。利用SEM、UV-Vis及反射式椭圆偏振光谱仪对薄膜的微观结构及光学特性进行了表征和分析。结果表明：3种基底中,单晶硅基底上TiO2和SiO2薄膜折射率最大;在非晶态K9玻璃和石英玻璃基底上TiO2薄膜折射率和透光率差异较大;SiO2薄膜在非晶态基底上折射率、透光率相近;3种基底上薄膜的折射率和消光系数都有随波长增大而减小的趋势,同时Cauchy模型能较好的描述单晶硅基底上两种薄膜在400~800 nm波段的光学性能。
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