【摘 要】
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研制了一种新的声表面波控制开关的微阀.在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀
【机 构】
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常州工学院电气学院,宁波大学微纳电子系统研究所
【基金项目】
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浙江省科技厅基金资助项目（2009R50025）,浙江省重点学科基金资助项目（Xk111077）
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研制了一种新的声表面波控制开关的微阀.在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀,使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜发生形变,微阀由开态转变为关态.红色染料溶液微流体为实验对象进行微阀操作实验,结果表明,声表面波可有效实现微阀的控制,且微阀开关时间随所加电信号功率增加而减少,在32 dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为3 min.
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