掺杂对TiO2湿敏薄膜特性的改进

来源 :福建师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxglov

【摘要】

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采用真空镀膜技术制备TiO2与TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:掺杂适量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,工作频率为100 Hz时,在全湿度范围

【作者】

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林永钟李旦振

【机构】

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福建师范大学物理与光电信息科技学院,福州大学光催化研究所

【出处】

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福建师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

：

湿敏薄膜二氧化钛氟化镁 humidity sensor thin film TiO_2 MgF_2

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采用真空镀膜技术制备TiO2与TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:掺杂适量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,工作频率为100 Hz时,在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.

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