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简要介绍了在强碱溶液中硅的各向异性刻蚀性质和凸角补偿技术。
微机械加工技术——硅的各向异性刻蚀
【摘 要】
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简要介绍了在强碱溶液中硅的各向异性刻蚀性质和凸角补偿技术。
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年1期
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