【摘 要】
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为了研究硅量子点薄膜在太阳电池中的应用,本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,低温制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的纳米硅氧多层(nc-SiOx/a-SiO x)薄膜样品。TEM图
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61504036),河北省自然科学基金青年基金资助项目(No.A2016201087),河北省高等学校科学研究指导项目资助项目(No.Z2015121)
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为了研究硅量子点薄膜在太阳电池中的应用,本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,低温制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的纳米硅氧多层(nc-SiOx/a-SiO x)薄膜样品。TEM图显示,通过调整nc-SiO x层的厚度,实现了薄膜多层结构的低温调控。利用拉曼散射光谱(Raman)、紫外可见透射光谱以及稳/瞬态光致发光(PL)谱等检测手段对薄膜的微观结构、能带特征以及发光特性进行了分析。光吸收谱分析表明,nc-Si粒子尺寸及其a-SiO x边界层共同影响薄膜的光学带隙。稳/瞬态PL谱分析表明,多层结
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