【摘 要】
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偏振片在诸多光学系统中有着重要的应用。亚波长介质光栅可用作正入射偏振片,在高能激光系统中有着广泛的应用前景。为了探究波长为1 064 nm的纳秒脉冲激光对于亚波长全介质
【机 构】
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同济大学先进微结构材料教育部重点实验室,同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金(U1430130,U1630124);国家自然科学基金(91536111,61235011)
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偏振片在诸多光学系统中有着重要的应用。亚波长介质光栅可用作正入射偏振片,在高能激光系统中有着广泛的应用前景。为了探究波长为1 064 nm的纳秒脉冲激光对于亚波长全介质光栅的诱导损伤特性,使用了粒子群优化算法结合严格耦合波分析设计了光栅的几何参数,计算表明亚波长光栅偏振片在入射光波长1 064 nm附近带宽0.5 nm内,平均消光比为1 500。使用了紫外曝光配合离子束刻蚀的工艺制备了HfO 2光栅,并对其纳秒脉冲激光损伤阈值进行了测试。测试结果表明S光损伤阈值约为P光损伤阈值的5倍,且都大于5 J/cm
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