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微电铸技术加工的器件往往存在铸层不均匀的缺陷,导致其质量和性能大大降低。针对微电铸的不均匀性,介绍了微电铸工艺流程,从几何因素和电化学因素两方面对微电铸层均匀性的影响进行了综述。
微电铸层均匀性的影响研究
【摘 要】
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微电铸技术加工的器件往往存在铸层不均匀的缺陷,导致其质量和性能大大降低。针对微电铸的不均匀性,介绍了微电铸工艺流程,从几何因素和电化学因素两方面对微电铸层均匀性的
【机 构】
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江苏工业学院机械与能源工程学院,江苏技术师范学院机械与汽车工程学院
【出 处】
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电镀与环保
【发表日期】
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2010年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（50875116）
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